이상설 포항가속기연구소 박사, '경북과학기술대상' 종합대상 수상

이상설 포항가속기연구소 박사가 '2024 경북과학기술대상' 과학기술진흥 부문 종합대상 수상자로 선정됐다.

2015년 포스텍 포항가속기연구소에 부임한 이 박사는 포항 방사광가속기를 활용한 노광 기술 연구 및 첨단 분석 기술 개발을 통해 35편의 국제 SCI(E) 논문을 발표했고, 12건의 국내외 특허 등록과 5건의 기술 이전을 달성하는 등 활발한 연구 성과를 거뒀다.

그는 차세대 반도체 초미세화 기술인 극자외선(EUV) 노광 기술 분야에서 학계와 산업계에 크게 공헌하고 있다. 특히 나노급 반도체 초미세화에 필수적인 극자외선 노광 기술용 양산 소재인 포토레지스트, 펠리클, 마스크의 노광 특성 평가 기술을 성공적으로 개발하고, 산학연 협력을 통해 극자외선 소재 개발을 위한 산업 인프라를 구축하며, 첨단 과학기술의 국내 산업 경쟁력을 높인 공로를 인정받아 수상자로 선정됐다.

시상식은 지난 12일 구미시에서 진행된 '제22회 경북과학축전' 개막식과 함께 개최됐다. 김기태기자 ktk@yeongnam.com