[경북 강소기업] 반도체 공정 장비 제작 구미국가산업4단지 <주>트리엔

경북 구미국가산업4단지에 위치한 반도체·디스플레이 공정용 고속 정밀 이송장비 제작 업체 <주> 트리엔 본사 전경. (트리엔 제공)

구미국가산업4단지(경북 구미시 산동면)에 위치한 <주>트리엔은 반도체·디스플레이 공정용 고속 정밀 이송장비와 생산 자동화 장비를 집중적으로 개발, 생산하고 있는 강소기업이다. 공기압을 활용한 고속 정밀 기술로, 나노미터(㎚) 전쟁이라고 불리는 반도체 장비 시장을 선도하고 있다.

<주>트리엔이 보유한 핵심 기술은 반도체 웨이퍼 및 디스플레이 대형 유리기판의 이송에 활용되는 비접촉 방식의 에어 플로팅 부상판(Air Floating System)과 진공척, 그리고 공기압을 활용해 물체의 위치를 비대면 형태로 정밀하게 제어하는 에어 베어링 이송장비다. 

 

트리엔의 주력 상품인 에어 플로팅 부상판은 대전방지 다공질 세라믹 소재로 제작되어 정전기로 인한 반도체 웨이퍼·디스플레이용 유리 기판의 손상을 획기적으로 줄였다. (트리엔 제공)

에어 플로팅 부상판은 대전방지 다공질 세라믹을채택해 정전기로 인해 반도체 웨이퍼나 디스플레이용 유리 기판이 불량이 나지 않도록 설계한 것이 특징이다. 진공압을 활용해 물체를 고정시키는 진공척 또한 세라믹 소재로 제작해 정전기 발생률을 줄였다. 이춘무 <주>트리엔 대표는 "부상판은 LCD 공정에서 유리기판 이송 및 검사, 고정에 주로 사용되고 있다"며 "정전기 발생률 감소로 인해 LCD 패널 수율을 향상시킬 수 있다"고 설명했다.

 

실제 이 두 장비는 현재 국내 LCD/OLED 양산 라인에 적용돼 디스플레이 산업 활성화에 기여하고 있다. 미국과 중국, 대만 등 해외 기업에도 공급하고 있으며 현재 이스라엘 디스플레이 장비 기업과도 제품 공급을 위한 협의를 진행 중이다.

<주>트리엔의 '2축 공기 베어링 이송 장치'는 기존의 볼 또는 롤러 방식이 아닌 공기압을 이용한 비접촉 이송 방식을 채택해 물체와의 마찰을 최소화한 것이 특징이다.(트리엔 제공)

나노미터급 단위 초정밀 위치 제어 기술인 '에어 베어링 이송장비'도 <주>트리엔의 핵심 제품 중 하나다. 기존의 볼 또는 롤러 방식이 아닌 공기압을 이용한 비접촉 이송 방식을 채택해 물체와의 마찰을 최소화 했다. 최근 정부의 소재·부품·장비 분야 육성정책에 힘입어 반도체 공정장비 및 검사장비용 웨이퍼 고속 정밀 이송장치가 관심을 모으고 있다.

최근에는 반도체용 LC회로기판 패키지 양산에 주로 쓰이는 고출력 레이저 드릴링 장비를 개발해 업계의 주목을 받기도 했다. 이 장비는 그동안 국내 유수의 업체들이 상용화에 도전했지만 끝내 실패한 제품이다. 레이저 드릴링 장비는 상용화 테스트를 거친 후 올해 5대가 국내 반도체 기업에 납품됐다. 

영남대 기계공학과 벤처기업으로 시작한 <주>트리엔은 2003년 설립 이후 지금까지 꾸준한 연구개발 투자로 국내 및 해외 특허 15건을 보유한 기업으로 성장했다. 현재는 지식재산권 방어에 더 많은 노력을 기울이고 있다 있다. 지난해에는 중소벤처기업부로부터 경북도 글로벌 강소기업에 지정되기도 했다.

이 대표는 반도체 생산 장비 국산화를 위해 연구개발에 더욱 정진하겠다고 밝혔다. 그는 "현재 대부분의 반도체, 디스플레이 생산 장비들은 미국 등 외국계 기업이 독식하고 있는 것이 현실"이라며 "세계 1등인 국내 반도체 산업의 생산 장비 국산화를 위해 노력하겠다"라고 말했다.
오주석기자 farbrother@yeongnam.com

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