구미 반도체 클러스터 특구 유치 첫걸음

  • 백종현
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  • 입력 2022-07-26 16:08  |  수정 2022-07-26 17:00  |  발행일 2022-07-27 제9면
김장호 시장, 한화진 환경부장관, 박재현 수자원공사 사장
SK실트론 구미2공장 초순수 실증 플랜트 사업 현장 방문
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한화진 환경부 장관, 박재현 한국수자원공사 사장, 김장호 구미시장이 구미산단 SK실트론 구미2공장에서 초순수 실증 플랜트에 대한 설명을 듣고 있다.<구미시 제공>
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한화진 환경부 장관, 박재현 한국수자원공사 사장, 김장호 구미시장이 구미산단 SK실트론 구미2공장에서 초순수 실증 플랜트에 대한 설명을 듣고 있다.<구미시 제공

구미국가산업단지를 반도체 클러스터 특구로 조성하는 첫걸음이 시작됐다.

김장호 구미시장, 한화진 환경부 장관, 박재현 한국수자원공사 사장은 26일 SK실트론 구미2공장 초순수 실증 플랜트 사업 현장을 방문했다.

SK실트론 구미2공장 초순수 실증 플랜트는 SK실트론, 한국수자원공사, 한국환경산업기술원 등이 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위해 480억을 투자하는 국책사업(2021년∼2025년)이다.

이곳에서는 반도체 클러스터 특구 지정에 필요한 △초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화 장치 △초 저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 기술 등 초순수 국산화 사업이 진행 중이다.

SK실트론 실증 플랜트는 하루 2천400t 초순수 생산 기술 개발, 국내외 기술 비교, 생산공정 설계·운영 기술 100% 국산화, 시공 기술 및 기자재 60% 국산화가 목표다.

전 세계 반도체 산업의 초순수 시장은 2024년 23조원(국내 1조5천억원) 규모로 전망하고 있다.

정부는 지난해 5월 발표한 ‘2030년까지 510조 이상을 투자해 종합 반도체 강국으로 도약 K 반도체 전략’에도 반도체 초순수 생산기술 국산화가 들어있다.

김장호 구미시장은 "SK실트론의 초순수 실증 플랜트는 제 2 K-반도체 특구 조성에 새로운 기폭제 역할로 충분하다"라면서 "초순수를 생산하는 2025년에는 국내외 반도체 기업이 구미산단을 주목할 것"이라고 밝혔다.

백종현기자 baekjh@yeongnam.com

초순수(Ultra Pure Water)=초미세 회로(nano meter)로 구성된 반도체 표면에 묻은 부산물, 오염물을 씻는 공업용수로 불순물이 전혀 없는 상태(유기물 0.01ppm 이하)로 유지하는 최고 난이 수처리 기술

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