SK실트론 구미2공장에서 국내 최초 국산 기술 생산 '초순수' 공급

9일 SK실트론 구미2공장에서 열린 '초순수 국산화 실증 플랜트 통수식' 참석자들이 SK실트론에서 생산하는 웨이퍼를 들고 통수식 기념 퍼포먼스를 하고 있다. 박용기기자 ygpark@yeongnam.com

경북 구미 SK실트론 공장에 국내 최초 국산 기술로 생산된 '초순수(Ultra Pure Water)'가 공급된다.

9일 SK실트론 구미2공장에서 '초순수 국산화 실증 플랜트 통수식'이 열렸다. 통수식을 통해 공급되는 초순수는 하루 최대 1천200t 규모로 SK실트론 구미2공장 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼 생산공정에 사용된다.

반도체 공정의 생명수라 불리는 초순수는 웨이퍼 제조, 포토, 식각 등 반도체 제조 각 공정 과정의 세정에 필요하다. 반도체 품질과 수율(양품 비율)을 좌우하는 핵심 요소로, 초순수의 생산을 위해서는 이온 물질 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 물속의 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하로 만드는 최고난도의 수처리 기술이 필요해 일부 선진국만 기술을 보유하고 있다. 현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하고 있다.

국내에서는 2021년 4월 SK실트론 구미2공장에 '고순도 공업용수 국산화 기술 개발 사업'을 위한 실증 플랜트가 구축된 이후 설계·시공·운영 기술 100%, 핵심 기자재 70%를 국산화하는 데 성공했다. 구체적으로 2차 총유기탄소(TOC) 자외선 산화, 1·2차 초순수이온 교환 수지탑, 3차 탈기막 장치의 국산화에 성공한 것이다. 이 사업에는 한국수자원공사를 비롯한 민간 물 기업, 학계 등 국내 물 전문가들이 대거 참여했다.

9일 SK실트론 구미2공장에서 열린 '초순수 국산화 실증 플랜트 통수식'에 참석한 박재현 환경부 물관리정책실장, 낭궁은 한국 초순수학회장, 김호섭 구미시 부시장, 조용준 SK실트론 부사장 등이 국산 기술로 생산되는 초순수 시설에 대한 설명을 듣고 있다. 박용기기자 ygpark@yeongnam.com

통수식에 참석한 조용준 SK실트론 부사장은 "초순수는 반도체의 시작이자 끝이라고 할 만큼, 반도체 전(全)공정에서 중요한 역할을 한다"며 "우수한 국내 기술로 공급되는 초순수가 반도체 산업의 새로운 도약의 발판이 될 것"이라고 밝혔다.

미국을 중심으로 강화되고 있는 자국 내 반도체 공급망 구축 움직임 속에 구미에서 시작된 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 자립화를 가속화 하는 계기가 될 것으로 기대된다.

김장호 구미시장은 "구미에서 시작한 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것"이라고 했다.

한편 반도체 산업 이외에도 의료·바이오, 화학, 2차전지, 디스플레이 등 첨단 산업 필수 자원인 초순수 시장 규모는 2021년 기준 국내 2조 2천억원, 해외 28조원으로 2028년까지 국내 2조 5천억원, 해외는 35조 5천억원까지 성장할 것으로 전망된다.

박용기기자 ygpark@yeongnam.com

박용기

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