SK실트론 오는 24일 초순수 첫 공급

김장호 구미시장이 15일 SK실트론의 실증 플랜트 구축 현장을 둘러보면서 기업체 관계자와 대화를 나누고 있다.<구미시 제공>

김장호(맨 오른쪽) 구미시장이 15일 SK실트론의 실증 플랜트 구축 현장을 둘러보면서 기업체 관계자와 대화를 나누고 있다.<구미시 제공>

경북 구미국가산업단지에 본사를 둔 SK실트론이 초순수 실증 플랜트 설계시공 국산화에 성공함에 따라 오는 24일부터 초순수를 정식 공급한다. 이로써 내달 발표할 반도체 특화단지 구미시 지정에 성큼 다가섰다는 평가다.

SK실트론은 2021년 6월 환경부·한국수자원공사 등과 함께 반도체용 '고순도 공업용수(초순수) 실증 플랜트 사업'을 추진한 결과 지난달부터 하루 1천200t 초순수 시험 생산을 시작했다.

초순수 공업용수 실증 플랜트 국산화 사업은 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫 단계로, SK실트론은 하루 2천400t의 초순수를 생산할 실증 플랜트 기술 100% 국산화가 최종 목표다. 총사업비 640억 원을 투자한다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 웨이퍼 표면의 이물질을 씻는 공업용수로 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물 제로(0) 상태의 정제가 필요하다. 7단계 공정인 수돗물보다 6배 이상 까다로운 25단계 생산 공정을 거쳐야 한다.

초순수는 불순물이 전혀 없어 용수로 반도체 공정에 필수적인 소재다. 현재 삼성전자, SK하이닉스 반도체 공장의 초순수 생산시설은 일본 기업체 설계, 장치는 일본과 미국 제품 사용, 분석은 일본 기업이 맡고 있다.

한편, 김장호 구미시장은 15일 SK실트론의 실증 플랜트 구축 현장을 찾아가 "초순수 국산화 성공은 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정·자립화에 선도적 역할을 할 것"이라며 "반도체 소재부품 산업의 경쟁력 강화에 필수적인 구미 반도체특화단지 지정이 절실하다"고 말했다..

백종현기자 baekjh@yeongnam.com

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